類別 : 白光干涉儀
品牌 : gbs Metrology
系列 : smartWLI
畫素
8 MP
解析度
3488 x 2192 px
線性度
200 μm / 30 nm
取像速度
160 fps
傳輸介面
10GigE
驅動平台
壓電制動
評估演算法
VSI / EPSI
光學演算法
HD-EPSI
輸入電流
10 A
輸入功率
13 -17 W
尺寸
134
x
212.4
308.9
mm
重量
5
g
