類別 : 白光干涉儀
品牌 : gbs Metrology
畫素
解析度
線性度
取像速度
最高取像速度
傳輸介面
驅動平台
評估演算法
光學演算法
尺寸
重量
2.3 MP
1920 x 1200 px
200 μm / 30 nm
169 fps
3.2 kfps
USB3.0
壓電制動
VSI / EPSI
HD-EPSI
122 x 212.4 x 210.8 mm
5
kg
電流
10 A
功率
3 - 7 W
