類別 : 白光干涉儀
品牌 : gbs Metrology
畫素
解析度
線性度
取像速度
最高取像速度
傳輸介面
驅動平台
評估演算法
光學演算法
尺寸
重量
1.3 MP
1280 x 1024 px
200 μm / 30 nm
935 fps
10 kfps
10GigE
壓電制動
VSI / EPSI
HD-EPSI
134 x 212.4 x 271.7 mm
5.5
kg
電流
10 A
功率
3 - 7 W
