類別 : 白光干涉儀
品牌 : gbs Metrology
系列 : smartWLI
畫素
8 MP
解析度
3488 x 2192 px
線性度
400 μm / 30 nm
取像速度
160 fps
傳輸介面
10GigE
驅動平台
壓電制動
評估演算法
VSI / PSI
光學演算法
HD-EPSI
輸入電流
10 A
輸入功率
13 - 17 W
尺寸
65.5
x
132
301.4
mm
重量
2.5
g
