類別 : 白光干涉儀
品牌 : gbs Metrology
系列 : smartWLI
畫素
1.3 MP
解析度
1280 x 1024 px
線性度
400 μm / 30 nm
取像速度
935 fps
最高取像速度
10 kfps
傳輸介面
10GigE
驅動平台
壓電制動
評估演算法
VSI / EPSI
光學演算法
HD-EPSI
輸入電流
10 A
輸入功率
3 - 7 W
尺寸
64
x
127
271.2
mm
重量
2.1
g
