何謂白光干涉儀
白光干涉儀是一種非接觸式的光學量測技術，透過白光在樣品表面產生的干涉現象，能以奈米級的精度描繪出物體的 3D 表面輪廓。
不同於傳統接觸式儀器，白光干涉儀不會造成樣品損傷，特別適合高精密、易刮傷或高反射的材料。
其最大的優勢在於 高解析度、快速掃描、以及能同時獲得大範圍與高精度的表面資訊，因此廣泛應用於半導體、光學、精密加工與先進材料檢測。
gbs Metrology 白光干涉儀系列
SmartWLI
整合最新演算法與 GPU 平行運算技術，具備以下關鍵優勢：
| 特色 | 說明 | 使用者價值 |
|---|---|---|
| 極速測量 | Speedytec® 技術，運算速度達傳統 CPU 的百倍，並即時處理影像。 | 大幅縮短檢測時間，提升產線效率。 |
| 奈米級高度解析度 | 白光干涉法與演算法優化，解析度不受量測範圍限制。 | 精細捕捉奈米級表面差異。 |
| 高橫向解析度 | 僅依據最佳焦點影像計算，解析度接近光學理論極限。 | 檢測更細緻，適合微結構與精密零件。 |
| 卓越接受角度 | 即使表面傾斜或多重反射，也能可靠量測。 | 擴大可測範圍，適合複雜形貌樣品。 |
| AQC 品質控制 | 為每個測點計算品質值，濾除雜訊點而不降低解析度。 | 確保數據真實可靠，避免誤判。 |