精密量測新突破:smartWLI 白光干涉儀 — 奈米級精度 × GPU 百倍加速

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量測實例表面粗糙度標準 Halle KNT 4070 Ra=25 nm

高反光、斜面、複雜表面皆可穩定測量
讓量測速度與準確度全面升級。

在精密製造與品質檢測中,您是否也面臨這些挑戰?

  • 量測速度太慢,無法跟上產線節奏
  • 表面高反光或傾斜,數據經常失真
  • 平台移動造成誤差,導致結果不穩定

smartWLI 系列結合 GPU 平行運算與 D-EPSI 演算法,不僅在高反射與傾斜面上維持高水平解析度與垂直解析度,更透過 smartSTITCH 校正演算法,消除 XY 平台誤差,讓量測結果更準確且更穩定。AQC 噪訊濾除技術自動剔除受干擾像素點,提升訊號品質能夠清楚擷取輪廓。配合 smartVIS3D 軟體整合,自動化量測流程省時省工。

解決方案:smartWLI 的核心優勢

  • GPU 平行運算:速度比傳統 CPU 快上百倍,即時生成 3D 表面輪廓
  • 8MP 高解析奈米級精度:兼顧水平與垂直解析度,確保數據真實可靠
  • 高反光 / 斜面適應性:即使是高反光或傾斜的複雜表面,也能維持穩定測量,低na大收光可接受角
  • smartSTITCH 演算法:獨有演算法增加訊號接收能力,自動補償 XY 平台誤差,量測結果更完整,可量測高深寬比物體
  • AQC 品質控制:自動剔除干擾像素,降低噪訊,數據更乾淨,無須用濾波器,不影響水平解析

應用實例

  • 晶圓與封裝零件:微小突起 / 凹陷的精確量測
  • 光學鏡片:從拋光到塗層後的瑕疵檢測、微鏡片陣列瑕疵檢測等
  • 電子元件:錫球檢測

Microbump

黑矽晶表面

微鏡片陣列

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