區域共聚焦顯微感測器

依據寬場顯微成像原理，利用結構光照明調制待測物表面資訊，並除去離焦訊號干擾，透過垂直方向掃描得到 3D 顯微影像。效率相較點掃描量測更高，而在量測傾角斜面多變的複雜微結構表面，效果更是相較單色光或白光干涉等測量方法優異。

• 單次掃描即可生成奈米精度的 3D 多層表面形貌影像
• 同時適用於拍攝複雜表面 (如散射表面) 或光滑表面
• 可根據應用場景靈活調整精度與成像時間，最高可達 1 nm